薄膜結(jié)構(gòu)X射線表征

內(nèi)容概要

本書結(jié)合作者二十多年來的工作積累和國內(nèi)外最新進(jìn)展，系統(tǒng)介紹了應(yīng)用X射線衍射和散射技術(shù)表征薄膜微結(jié)構(gòu)的多種基本實(shí)驗(yàn)裝置、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析理論以及典型的薄膜微結(jié)構(gòu)表征實(shí)例。全書分三篇(共16章)：第一篇基本實(shí)驗(yàn)裝置(第1～3章)，主要介紹X射線源、X射線準(zhǔn)直和單色化、各種探測(cè)器及薄膜X射線衍射儀和表面／界面散射裝置。第二篇基本理論(第4～10章)，介紹薄膜X射線衍射和散射實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析所用的相關(guān)理論，包括用于近完美多層膜和金屬多層膜的X射線衍射運(yùn)動(dòng)學(xué)理論；用于超晶格和多量子阱的X射線衍射動(dòng)力學(xué)理論；用于原子密度和晶格參數(shù)很接近的金屬多層膜的X射線異常衍射精細(xì)結(jié)構(gòu)理論；用于薄膜和多層膜表面與界面分析的X射線反射、漫散射理論以及掠入射衍射理論。第三篇薄膜微結(jié)構(gòu)表征(第11～16章)，介紹應(yīng)用X射線衍射和散射技術(shù)表征薄膜微結(jié)構(gòu)的實(shí)例。    本書力圖理論聯(lián)系實(shí)驗(yàn)、深入淺出，而又不失其先進(jìn)性、實(shí)用性和普適性?？晒氖卤∧げ牧虾推骷芯康难芯咳藛T和工程技術(shù)人員參考，也可作為高等院校和研究院所凝聚態(tài)物理、材料科學(xué)和有關(guān)薄膜科學(xué)技術(shù)專業(yè)及相關(guān)專業(yè)的教師和研究生教學(xué)用書和參考書。

書籍目錄

序前言第一篇 基本實(shí)驗(yàn)裝置  第1章 X射線源與X射線探測(cè)　　1.1 X射線源　　1.2 X射線準(zhǔn)直和單色化　　1.3 X射線探測(cè)器　　參考文獻(xiàn)　第2章 薄膜X射線衍射儀　　2.1 高分辨共面X射線衍射儀　　2.2 掠入射衍射裝置　　2.3 測(cè)量分辨率的分析　　參考文獻(xiàn)　第3章 表面／界面X射線散射　　3.1 固體表面／界面X射線反射和漫散射裝置　　3.2 液體表面／界面X射線反射和散射裝置　　參考文獻(xiàn)第二篇 基本理論　第4章 X射線衍射運(yùn)動(dòng)學(xué)理論　　4.1 引言　　4.2 X射線衍射幾何　　4.3 倒易點(diǎn)陣　　4.4 X射線衍射強(qiáng)度　　4.5 薄晶體衍射強(qiáng)度　　參考文獻(xiàn)　第5章 金屬多層膜的X射線衍射運(yùn)動(dòng)學(xué)理論　　5.1 成分混合／合金化的多層膜　　5.2 [A／B]N多層膜　　參考文獻(xiàn)　第6章 X射線衍射動(dòng)力學(xué)理論(一)——完美晶體　　6.1 引言　　6.2 完美晶體中X射線波動(dòng)方程　　6.3 雙光束近似　　6.4 色散面　　6.5 勞厄幾何晶體內(nèi)波場(chǎng)振幅　　6.6 布拉格幾何晶體內(nèi)波場(chǎng)振幅　　6.7 雙軸晶衍射搖擺曲線的理論計(jì)算　　參考文獻(xiàn)　第7章 X射線衍射動(dòng)力學(xué)理論(二)——畸變晶體　　7.1 引言　　7.2 晶體中的調(diào)制波　　7.3 高木方程　　7.4 高木方程的Taupin形式　　7.5 多層膜結(jié)構(gòu)的X射線雙軸晶搖擺曲線計(jì)算　　7.6 應(yīng)變弛豫超晶格的X射線雙軸晶搖擺曲線計(jì)算　　參考文獻(xiàn)　第8章 X射線異常衍射精細(xì)結(jié)構(gòu)理論　　8.1 沒有周期調(diào)制的多層膜　　8.2 [A／B]N多層膜　　8.3 實(shí)驗(yàn)方法　　8.4 DAFS譜線的分析方法　　參考文獻(xiàn)　第9章 X射線掠入射衍射理論　　9.1 概述　　9.2 X射線掠入射衍射準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)學(xué)理論　　9.3 掠入射衍射的應(yīng)用　　參考文獻(xiàn)　第10章 X射線界面反射和漫散射理論　　10.1 X射線鏡面反射　　10.2 粗糙表面的散射(一)——玻恩近似　　10.3 粗糙表面的散射(二)——DWBA理論　　10.4 多層膜的DWBA散射理論　　10.5 界面起伏的關(guān)聯(lián)函數(shù)　　參考文獻(xiàn)第三篇 薄膜微結(jié)構(gòu)表征　第11章 單層膜和多層膜厚度　　11.1 單層膜和多層膜共面X射線衍射　　11.2 埋層的探測(cè)　　參考文獻(xiàn)　第12章 外延膜的晶格參數(shù)、應(yīng)力與組分　　12.1 共面X射線雙軸晶衍射　　12.2 薄膜殘余應(yīng)力檢測(cè)的X射線mapping技術(shù)　　12.3 掠入射衍射　　參考文獻(xiàn)　第13章 薄膜表面與界面　　13.1 X射線鏡面反射　　13.2 X射線漫散射　　13.3 X射線異常衍射精細(xì)結(jié)構(gòu)　　參考文獻(xiàn)　第14章 橫向調(diào)制結(jié)構(gòu)　　14.1 表面柵格結(jié)構(gòu)　　14.2 橫向成分調(diào)制結(jié)構(gòu)　　14.3 量子線結(jié)構(gòu)　　14.4 量子點(diǎn)結(jié)構(gòu)　　14.5 原子有序結(jié)構(gòu)　　參考文獻(xiàn)　第15章 外延膜中的缺陷　　15.1 倒易空間X射線散射強(qiáng)度分布　　15.2 應(yīng)變弛豫　　15.3 失配位錯(cuò)　　15.4 X射線反射形貌術(shù)　　參考文獻(xiàn)　第16章 軟物質(zhì)薄膜與界面　　16.1 液體薄膜與界面　　16.2 固／液界面的磷脂多層膜　　16.3 表面活性劑多層膜　　參考文獻(xiàn)

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