新型傳感技術(shù)及應(yīng)用

內(nèi)容概要

　　本書為普通高等教育“十一五”國冢級規(guī)劃教材?！　”緯Y(jié)合國際上傳感技術(shù)及應(yīng)用方面的最新發(fā)展趨勢．就傳感技術(shù)的共性基礎(chǔ)司題與幾種有代表性的傳感器進(jìn)行了深入系統(tǒng)地討論。在傳感技術(shù)的共性基礎(chǔ)問題中，介紹了傳感技術(shù)涉及的先進(jìn)材料、制造工藝、傳感器建模；在有代表性的傳感器中，介紹了硅電容式集成傳感器、諧振式傳感器、聲表面波式傳感器、薄膜式傳感器與磁傳感器。在介紹每一種傳感器時(shí)，既重視理論分析，又結(jié)合實(shí)際應(yīng)用，以便于讀者掌握。本書的每章后都配有思考題與習(xí)題?！　”緯勺鳛閮x器科學(xué)與技術(shù)、控制科學(xué)與工程、機(jī)械工程等學(xué)科專業(yè)碩士研究生的教材，也可供相關(guān)學(xué)科專業(yè)的師生和有關(guān)工程技術(shù)人員參考。

書籍目錄

前言第一版　前言1　傳感器與敏感材料　1.1　概述　1.2　硅材料　1.3　化合物半導(dǎo)體材料　1.4　壓電材料　1.5　磁致伸縮材料　1.6　形狀記憶合金　1.7　熔凝石英　1.8　光導(dǎo)纖維　1.9　彈性合金　1.10　納米材料　思考題與習(xí)題2　傳感器的制造和封裝技術(shù)　2.1　概述　2.2　硅微加工技術(shù)　2.3　LIGA技術(shù)和Sl，IGA技術(shù)　2.4　特種精密加工技術(shù)　2.5　封裝技術(shù)　思考題與習(xí)題3　傳感器建模的力學(xué)基礎(chǔ)　3.1　概述　3.2　彈性體的應(yīng)力　3.3　彈性體的應(yīng)變　3.4　彈性體的物理方程　3.5　彈性體的能量方程　思考題與習(xí)題4　傳感器的建?！?.1　彈性圓柱體（桿）的建?！?.2　梁的建?！?.3　圓平膜片的建模　4.4　矩形（方形）平膜片的建?！?.5　波紋膜片的建?！?.6　E形圓膜片的建?！?.7　帶有頂蓋的圓柱殼的建?！?.8　頂端開口圓柱殼的建?！?.9　半球殼的建?！∷伎碱}與習(xí)題5　硅電容式集成傳感器　5.1　概述　5.2　硅電容式集成壓力傳感器　5.3　硅電容式集成壓力傳感器的接口電路　5.4　硅電容式加速度傳感器　5.5　硅電容式角速度傳感器　思考題與習(xí)題6　諧振式傳感器　6.1　概述　6.2　諧振式傳感器的基礎(chǔ)理論　6.3　諧振弦式壓力傳感器　6.4　諧振膜式壓力傳感器　6.5　諧振筒壓力傳感器　6.6　諧振式角速率傳感器　6.7　諧振式直接質(zhì)量流量傳感器　6.8　硅微結(jié)構(gòu)諧振式傳感器　6.9　硅微結(jié)構(gòu)諧振式傳感器開環(huán)特性測試儀　思考題與習(xí)題7　聲表面波傳感器　7.1　概述　7.2　表面波的基本理論　7.3　聲表面波叉指換能器　7.4　聲表面波諧振器　7.5　SAW加速度傳感器　7.6　SAW壓力傳感器　7.7　SAW氣體傳感器　7.8　SAw流量傳感器　思考題與習(xí)題8　薄膜傳感器　8.1　概述　8.2　幾種薄膜傳感器　思考題與習(xí)題9　磁傳感器　9.1　概述　9.2　磁傳感器的工作原理　9.3　霍爾元件與霍爾傳感器　9.4　磁阻元件和傳感器　9.5　硅諧振式磁傳感器簡介　思考題與習(xí)題參考文獻(xiàn)　

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