動態(tài)微機電系統(tǒng)

內(nèi)容概要

　　本書以動態(tài)微機電系統(tǒng)（MEMS）為主要對象，介紹其相關的功能材料、設計方法、制造工藝以及控制方法。全書共6章，主要內(nèi)容包括：動態(tài)
MEMS主要技術領域的簡況；動態(tài)MEMS中常用的功能材料及其制備方法；動態(tài)MEMS器件的主要設計方法及其發(fā)展現(xiàn)狀；動態(tài)MEMS的制造工藝，常見失效模式及其克服方法；動態(tài)MEMS的控制理論基礎、控制技術及其發(fā)展現(xiàn)狀、控制實驗方法等方面的論述；典型動態(tài)MEMS系統(tǒng)剖析。
《動態(tài)微機電系統(tǒng)》可供材料類、機電工程類、自動控制類、儀器科學類等相關專業(yè)的高年級本科生和研究生作為教材使用，也可供從事MEMS功能材料、
MEMS器件設計、MEMS制造工藝和MEMS控制技術研究的科技人員參考。

書籍目錄

前言
第1章  緒論
  1.1  引言
  1.2  MEMS的基本特征和主要技術領域
  1.3  動態(tài)MEMS中的常用材料
  1.4  動態(tài)MEMS的設計方法簡介
  1.5  動態(tài)MEMS的制造技術簡介
  1.6  動態(tài)MEMS的控制技術及其發(fā)展概況
  1.7  MEMS的應用前景
  參考文獻
第2章  動態(tài)MEMS中的功能材料與制備方法
  2.1  引言
  2.2  動態(tài)MEMS壓電材料
  2.3  動態(tài)MEMS磁致伸縮材料
  2.4  動態(tài)MEMS形狀記憶合金材料
  2.5  動態(tài)MEMS智能高分子材料
  參考文獻
第3章  動態(tài)MEMS的設計理論與設計方法
  3.1  引言
  3.2  分布式全柔性微機構的拓撲優(yōu)化設計方法
  3.3  動態(tài)MEMS的可靠性設計方法
  3.4  電熱微致動器的魯棒優(yōu)化設計
  3.5  可變電容靜電微電機的優(yōu)化設計
  3.6  動態(tài)MEMS設計理論的發(fā)展展望
  參考文獻
第4章  動態(tài)MEMS的制造技術
  4.1  MEMS的制造技術簡介
  4.2  薄膜材料制備技術
  4.3  光刻技術
  4.4  刻蝕技術
  4.5  鍵合工藝技術
  4.6  MEMS制造中常見的失效模式與防止方法
  參考文獻
第5章  動態(tài)MEMS的建模與控制技術
  5.1  引言
  5.2  典型動態(tài)MEMS的動力學模型
  5.3  動態(tài)MEMS的非線性特征及其應用
  5.4  動態(tài)MEMS控制技術的理論基礎
  5.5  動態(tài)MEMS的控制器設計
  5.6  動態(tài)MEMS的控制技術實驗方法
  參考文獻
第6章  典型動態(tài)MEMS剖析
  6.1  壓電微致動器的電荷驅(qū)動控制
  6.2  壓電微電機
  6.3  旋轉(zhuǎn)式靜電微致動器
  6.4  PZT微致動器的制備
  參考文獻

編輯推薦

　　《動態(tài)微機電系統(tǒng)：理論與應用》以動態(tài)MEMS為主要對象，從功能材料的制備、設計方法、制造工藝與失效模式分析、建模與控制方法以及系統(tǒng)應用的角度，較深入地介紹了當前國內(nèi)外的一些主要研究成果?！秳討B(tài)微機電系統(tǒng)：理論與應用》主要內(nèi)容取材于作者所在課題組近年來的一些科研成果，同時也對動態(tài)MEMS所涵蓋專業(yè)領域國內(nèi)外的主流前沿技術進行系統(tǒng)歸納，使讀者能在較短時間內(nèi)對動態(tài)MEMS的主要技術領域和前沿研究方向有所了解，并從中選擇自己感興趣的主題進一步開展研究。《動態(tài)微機電系統(tǒng)：理論與應用》內(nèi)容安排力求深入淺出，引文詳實豐富，適合作為初涉本領域的研究生教材，也可供具有一定研究基礎的讀者參考。

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